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30号,周二。
上午,身为星空半导体代理CEO的赵智依照各方面安排进行了一些有目的的公开事务。
配合了那台可支撑45nm工艺制程的国产光刻机正式进驻星空半导体一期工厂来宣传。
无数被通知和知情媒体齐聚现场。
闪光灯连成一片片。
更是有一些媒体有意的开启了现场网络直播。
“观众朋友们大家好,现在我们正在江夏星空半导体总部,一同见证星空半导体全国产设备生产线最后一台核心设备入驻厂房。”
“它就是由我国自主生产,具有自主知识产权的SSSArF 900/45DUV 型IC前道制造步进扫描投影光刻机。”
“根据装备说明,目前该型光刻机可制备200mm或300mm晶圆,即适配8寸或12寸晶圆生产线,可完成45nm光刻工艺制程成片制造,至多可经多次曝光完成14nm光刻工艺制程成片制造。”
“除了该型IC前道制造光刻机外,目前星空半导体一期工厂已经进驻的其它大型制造设备,如刻蚀机、后道封装光刻机、清洗机等全都是国产设备。”
“……”
基本是新闻介绍口径。
重点突出,非重点春秋笔法带过,比如只字未提这条生产线被定位成了试验线,更没提光刻机是实验机,与商用机是两回事。
从进入这间厂房之后的很长一段时间里,这台光刻机都无法带来稳定的产出,反而需要耗费海量的资源、资金去调试以优化更新迭代。
去解决诸如每小时晶圆生产数、稳定性、精准度、乃至能耗等方面的问题。
以适配大规模生产所需。
毕竟任何工业设备的商用都涉及到了连续稳定运行时长等等基础参数,而实验室产品不一定考虑了那么多基础参数,所以……
总之,能在现场进行线上直播的媒体,都是有任务需求的。
而且主用范围是海外市场,讲究更多。
不会出什么幺蛾子。
在热闹之后,赵智和田文凯两人也主动接受了现场媒体的现场访谈。
记者A:“赵总,昨天有官方消息称贵司与江夏地方达成了投资协议,江夏地方拟定投资800亿,用于扩大贵司发展规模,具体有哪些方面跟大家介绍一下。”
赵智边听边作点头状,然后回答道:“事实上,因为我们是行业新兵的缘故,所以一二期工程产能规划不高,这还是因为有华虹华力微的共同参与建设。”
“如今一期工程即将完工收尾试运营,我们已初步积累了经验,考虑到晶圆生产市场的巨大需求,包括我司所属博浪集团的自身需求,我们已经初步规划了三四期工程,初步规划月产能至少达10万片。”
记者B:“田总,贵司官方消息称目前在建产线为全国产设备,适应制造工艺为45nm级别,似乎难以满足市场最先进需求,可否为我们解释一下。”
田文凯不慌忙的回道:“事实上我们的生产线设备中大多具备可升级条件,甚至部分设备本就适应更先进制程,而关键设备光刻机亦具备可升级条件,目前我们已有初步升级方案,预计将在明年正式投产之前完成产线升级,支撑28~20nm工艺,这将节约大量的时间成本。”
记者C:“赵总可否详细说说三四期工程规划,有消息称目前全球前沿先进工艺已经进入了EUV光刻。”
赵智:“事实上我们的四期工程就是适应EUV极紫外光刻制备工艺的,而且我们在EUV光刻生产流程制造设备包括EUV光刻机等以及使用材料上都有研发投入;
也包括一些战略投资;
其中我们正在极力促成七星电子与北方微电子的重组;
也包括我们战略投资了目前国内唯一一家没有外资背景的镜片工厂明月镜片,预计总投资额以货币价值算将多达300亿人民币,一期投资价值也已达20亿;
还包括战略投资上微电这家总成光刻机的厂商……
凡此种种都是为了更好的让三四期工程生产线设备进一步实现全国产、更先进。”